|
Микроэлектромеханические системы
Микроэлектромеханическая система – миниатюрная система, содержащая электронные и механические компоненты с характерным размером от 1 до 100 мкм. Обычно состоит из электронного модуля - микропроцессора и/или микроконтроллера и набора микроскопических механоэлектрических датчиков и/или электромеханических преобразователей (актюаторов). МЭМС нередко являются составной частью интегральных схем (ИС). Благодаря малым размерам, МЭМС демонстрируют уникальные свойства, не выраженные для макроскопических (или классических) тел в силу более высокого отношения площади поверхности к объему: повышенную чувствительность к статическому (поверхностному) электричеству и смачиваемость (действие сил поверхностного натяжения). Источник:
РОСНАНО. Список терминов
В конце 50-х годов прошлого века У.Маклеллан (США) собрал вручную с помощью оптического микроскопа электромотор размером 0,4 мм (в настоящее время находится в музее Масачусетского технологического института). В настоящее время МЭМС изготавливаются, в основном, из кремния благодаря хорошим механическим свойствам и воспроизводству для МЭМС (например, акселерометры, микрокапиллярные устройства, биомедицинские имплантанты и пр.) технологий литографии, разработанной для современных интегральных схем и изделий наноэлектроники.Источник:
Ch.P.Pool, F.G.Owens. Introduction in nanotechnology. John Wiley &Sons, 2003.
|
|
